C04700 - SEMI C47 - Guide for Trans 1,2 Dichloroethylene StdPbc-0913 • A communication interface that

• A communication interface that transfers general-purpose data between equipment or between the host and equipment

本文書における計量の標準単位としては，国際単位系（SI）が使用される。米国常用単量は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められている。

SEMI C61-0707 (first published)

本文書の目的は，半導体産業で使用されるトリメチルホスフィンに対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。

SEMI 3D9 — Guide for Describing Materials Properties for a 300 mm 3DS-IC Wafer Stack

C04700 - SEMI C47 - Guide for Trans 1,2 Dichloroethylene StdPbc-0913 • A communication interface thatNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. The purpose of this Standard is to provide a guide for a grade of trans 1,2 dichloroethylene for which a need has been identified. The scope of this Standard lists the proposed impurity limits of trans 1,2 dichloroethylene