E13500 - SEMI E135 - Test Method for RF Generators to Determine Transient Response for RF Power Delivery Systems Used in Semiconductor Processing Equipment Revision:SEMI E135-0918 (Reapproved 0324) - Current XMLメッセージ通信に関する仕様は同期または非同期の形態で交わされるメッセージに必要なメッセージヘッダの定義を示す。新たなメッセージが許可される前にメッセージの消費と実行をアプリケーションが要求する場合，同期メッセージ配信が選択される。非同期メッセージは対応するメッセージの相関を維持する伝達技術に依存することなく独立に届けられるものである。非同期のメッセージ通信機構を選択する根拠は2個のソフトウエアシステム間のやり取りの特徴に起因する。次のとおり理由を挙げてみる。

XMLメッセージ通信に関する仕様は同期または非同期の形態で交わされるメッセージに必要なメッセージヘッダの定義を示す。新たなメッセージが許可される前にメッセージの消費と実行をアプリケーションが要求する場合，同期メッセージ配信が選択される。非同期メッセージは対応するメッセージの相関を維持する伝達技術に依存することなく独立に届けられるものである。非同期のメッセージ通信機構を選択する根拠は2個のソフトウエアシステム間のやり取りの特徴に起因する。次のとおり理由を挙げてみる。

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E13500 - SEMI E135 - Test Method for RF Generators to Determine Transient Response for RF Power Delivery Systems Used in Semiconductor Processing Equipment Revision:SEMI E135-0918 (Reapproved 0324) - Current XMLメッセージ通信に関する仕様は同期または非同期の形態で交わされるメッセージに必要なメッセージヘッダの定義を示す。新たなメッセージが許可される前にメッセージの消費と実行をアプリケーションが要求する場合，同期メッセージ配信が選択される。非同期メッセージは対応するメッセージの相関を維持する伝達技術に依存することなく独立に届けられるものである。非同期のメッセージ通信機構を選択する根拠は2個のソフトウエアシステム間のやり取りの特徴に起因する。次のとおり理由を挙げてみる。This Standard defines a test method used to determine the transient response for a radio frequency (RF) generator used in RF power delivery systems for semiconductor processing equipment to support SEMI E113. This Standard specifies the testing procedures and test equipment required for determining the transient response of an RF generator resulting from a requested change in output power. The response is determined for the RF generator operating into