S02100 - SEMI S21 - 人員防護安全基準 StdTpc-Chemical & Gas General Specifications 本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定されたインタフェースは，密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが，単にうまく設計された自動化インタフェースであるとの解釈でも構わない。

本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定されたインタフェースは，密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが，単にうまく設計された自動化インタフェースであるとの解釈でも構わない。

SEMI MF1389-00 (first SEMI publication)

1-0704 — レシピ管理スタンダード（RMS）のためのSECS-II プロトコルスタンダード

本試験方法は，global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されている。現版は2005年11月29日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2006年1月にwww

SEMI S10 — Safety Guidelines for Risk Assessment and Risk Evaluation Process

S02100 - SEMI S21 - 人員防護安全基準 StdTpc-Chemical & Gas General Specifications 本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。本スタンダードに規定されたインタフェースは，密閉されたミニエンバイロメント用途を意図しているが，単にうまく設計された自動化インタフェースであるとの解釈でも構わない。FPD This safety guideline was technically approved by the global Environmental Health & Safety Committee. This edition was approved for publication by the global Audits & Reviews Subcommittee on August 24, 2006. It was available at www. semi. org in October 2006. Originally published October 2003. E This standard was editorially modified in February 2007 to correct an error. Changes were made to 7. 2. 3. This safety guideline identifies preferred