E01500 - SEMI E15 - Specification for Tool Load Port Revision:SEMI E15-95 - Superseded SEMI MF1535-1015 (complete rewrite)

SEMI MF1535-1015 (complete rewrite)

SEMI S2-0715 (technical revision)

For housings with removable filter cartridges

本ガイドは130，90，65，および45 nm技術世代における走査型表面検査装置（Scanning Surface Inspection Systems（SSIS））の推薦仕様を提供するものである。シリコン上の局所光散乱（localized light scatterers （LLS））の数と大きさはシリコンウェーハの顧客によって指定され，検査証明書（Certificates of Compliance）に含まれる。シリコンウェーハサプライヤやその顧客は，これらのパラメータを，異なるメーカーの測定システムを使用するか，あるいは同じサプライヤでも異なる世代の測定システムを使用して測定することがある。したがって，そのような測定システムの種々の状況を標準化することにより，データ交換やデータ解釈を容易にし，適切な測定システムの調達を可能とすることができる。

risks of harm to facilities and to objects other than the OUC have been included in SEMI S10

E01500 - SEMI E15 - Specification for Tool Load Port Revision:SEMI E15-95 - Superseded SEMI MF1535-1015 (complete rewrite)NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Standard is intended to unify the interface between process inspection tools and automated wafer carrier transport systems while maintaining compatibility with human transport. This Specification deals with the